绝缘体上铌酸锂薄膜片上光子学器件的研究进展

作     者：李庚霖 贾曰辰 陈峰‡ Li Geng-Lin;Jia Yue-Chen;Chen Feng

作者机构：山东大学物理学院晶体材料国家重点实验室济南250100 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2020年第69卷第15期

页      面：243-258页

核心收录：

学科分类：081702[工学-化学工艺] 07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家重点研发计划(批准号:2019YFA0705000) 山东省泰山学者青年专家计划 山东大学齐鲁青年学者计划资助的课题 

主　　题：铌酸锂薄膜 微纳加工 非线性光学 集成光子学器件 

摘      要：铌酸锂晶体具有卓越的电光和非线性光学性质,一直以来都被认为是最有前景的集成光子学基质材料之一.也正是由于铌酸锂晶体多方面优良的光学性能,近年来新兴的铌酸锂薄膜技术在集成光子学的研究中受到了极大的关注.借助于先进的微纳加工技术,许多高性能的铌酸锂集成光子学器件已经得以实现.本文总结了几种微纳加工技术在基于铌酸锂薄膜的片上光子学器件制备中的应用,介绍了铌酸锂薄膜片上光子学器件的最新进展,并展望了其在集成光子学研究中的潜在应用.