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22nm FDSOI工艺单粒子瞬态脉宽研究

Study on Single Event Transient Pulse Width of 22nm FDSOI Process

作     者:沈磊 徐烈伟 赵凯 SHEN Lei;XU Liwei;ZHAO Kai

作者机构:上海复旦微电子集团股份有限公司上海200433 

出 版 物:《电子技术(上海)》 (Electronic Technology)

年 卷 期:2020年第49卷第2期

页      面:7-9页

学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 

基  金:上海市软件和集成电路专项(180102) 

主  题:集成电路设计 FDSOI SET 脉冲宽度 单粒子模拟 

摘      要:针对空间用集成电路共性技术问题,在22nm FDSOI(Fully Depleted Silicon on Insulator)工艺上开展单粒子效应技术研究意义重大。设计一款宽量程、高分辨率、精度可校准的SET(Single Event Transient)测试芯片,并经过实际流片和单粒子地面模拟试验,精确标定该工艺标准单元的单粒子脉冲宽度,填补当前辐射效应领域尚无该工艺相应数据的空白,为工艺线上设计空间用高性能电路奠定基础。

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