医用316L不锈钢表面Ta(Ti)N涂层的制备与表征

作     者：聂江 戴希林 丁明惠 Nie Jiang;Dai Xilin;Ding Minghui

作者机构：海军驻哈尔滨地区航空军事代表室哈尔滨150060 中航工业哈尔滨飞机工业集团哈尔滨150066 哈尔滨工程大学材料科学与化学工程学院哈尔滨150001 

出 版 物：《化工新型材料》 (New Chemical Materials)

年 卷 期：2011年第39卷第2期

页      面：100-103页

核心收录：

学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50773014) 哈尔滨工程大学军品横向课题资助项目(JH2010021 JH2010022) 

主　　题：316L不锈钢 Ta(Ti)N涂层 纳米力学性能 耐腐蚀性能 血液相容性 

摘      要：采用射频磁控溅射的方法制备了Ti含量不同的Ta(Ti)N涂层并研究了涂层的微观结构和性能。扫描电子显微镜(SEM)照片显示涂层结构致密无大的孔洞。XRD结果显示无Ti掺杂的涂层为面心立方结构的TaN,Ti掺杂的Ta(Ti)N涂层随着Ti掺杂量的增加TaN的衍射峰向高角度偏移,偏移的原因是形成了Ta(Ti)N固溶体。固溶体的形成使Ta(Ti)N涂层的纳米硬度明显高于TaN涂层的纳米硬度。Tafel外推结果表明在PBS溶液中,Ta(Ti)N涂层后的316L不锈钢的耐腐蚀性明显好于基体316L不锈钢的耐腐蚀性。血液相容性实验结果表明Ta(Ti)N涂层的血液相容性明显好于316L不锈钢基体的血液相容性。