高纯电子特气六氟丁二烯的纯化技术进展
The Purification Technology Development of High Purity Electronic Special Gas Hexafluoro-1,3-butadiene作者机构：上海化工研究院有限公司上海200062 上海三爱富新材料科技有限公司上海200241
出 版 物：《有机氟工业》 (Organo-Fluorine Industry)
年 卷 期：2020年第2期
页 面：25-29,52页
学科分类：081702[工学-化学工艺] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术]
摘 要：六氟丁二烯是一种新型的含氟电子气体,具有优异的蚀刻性能,且更加环保。简述了六氟丁二烯的物理性质、蚀刻特点和产品规范,详细介绍了国内外六氟丁二烯纯化技术的进展。
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