高g值MEMS加速度传感器敏感元件的结构分析
Analyse of the Structure of Sensing Elements of High g-Force MEMS Accelerometers作者机构：北京理工大学机电学院北京100081
出 版 物：《探测与控制学报》 (Journal of Detection & Control)
年 卷 期：2002年第24卷第4期
页 面：14-16页
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 082601[工学-武器系统与运用工程] 0826[工学-兵器科学与技术] 0802[工学-机械工程]
主 题：g值 MEMS 加速传感器 结构分析 敏感元件 引信
摘 要：介绍了几种高 g值 MEMS加速度传感器敏感元件的结构和原理 ,并对其结构特性进行了分析 ,最后给出了研究过程中所采用的圆膜片结构和仿真结果。
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