基于XPS的中和电子枪仿真实验
Simulation of an Electron Gun Based on XPS作者机构:电子科技大学光电科学与工程学院成都610054
出 版 物:《实验室研究与探索》 (Research and Exploration In Laboratory)
年 卷 期:2020年第39卷第2期
页 面:72-75页
学科分类:0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学]
基 金:国家自然科学基金(61704021) 电子科技大学高等教育人才培养质量和教学改革项目(2016XJYYB021)。
主 题:X射线光电子能谱仪 电子枪 电场强度 电子束轨迹 阳极束斑
摘 要:对X射线光电子能谱仪(XPS)的中和电子枪提出了一套完整的仿真设计方案。利用计算机模拟软件Opera对XPS中和电子枪的结构进行建模,实现了电子束轨迹、阳极电流和阳极束斑尺寸的设计。模拟结果以直观的形式呈现。通过该仿真实验,学生可以深入理解XPS分析法及中和电子枪结构的基础知识和工作原理。