新型双光子引发剂光聚合行为及微器件制备
Photopolymerization Behaviors of Novel Two-Photon Absorption Initiators and Fabrication of Microdevices作者机构:洛阳理工学院材料科学与工程系河南洛阳471023 中国科学技术大学高分子科学与工程系安徽合肥230026 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系安徽合肥230026
出 版 物:《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)
年 卷 期:2009年第36卷第6期
页 面:1528-1534页
核心收录:
学科分类:070207[理学-光学] 0808[工学-电气工程] 07[理学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 0702[理学-物理学]
基 金:国家自然科学基金(9020101 6) 河南省教育厅自然科学基金(2008B43001 5 2009B430009) 河南省科技厅科 技攻关(082102340026)资助项目
摘 要:针对800 nm的激发光源设计合成了3种具有D-π-D分子构型的新型二苯乙烯衍生物(分别命名为BPSBP,BESBP和BCSBP)作为双光子引发剂。利用飞秒激光研究了该系列双光子引发剂的双光子光聚合行为,着重讨论双光子引发剂浓度对聚合阈值和双光子引发剂浓度、聚合能量及曝光时间对聚合分辨率的影响。综合影响聚合分辨率、系统加工效率和微器件表面质量的因素,以浓度为32μmol/g的BPSBP作为双光子引发剂的聚合体系,在9×10~5mJ/cm^2的聚合能量下制作出了亚微米级的三维周期微结构等微器件,并用电镜(SEM)进行了表征。