两种Ge-Sb-Se薄膜的光学性质及微观结构

作     者：潘磊 宋宝安 肖传富 张培晴 林常规 戴世勋 Pan Lei;Song Bao-An;Xiao Chuan-Fu;Zhang Pei-Qing;Lin Chang-Gui;Dai Shi-Xun

作者机构：宁波大学信息科学与工程学院宁波315211 宁波大学浙江省光电探测材料与器件重点实验室宁波315211 宁波大学高等技术研究院宁波315211 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2020年第69卷第11期

页      面：93-103页

核心收录：

学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0704[理学-天文学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：浙江省自然科学基金(批准号:LY19F050003) 宁波大学王宽诚幸福基金资助的课题 

主　　题：红外硫系薄膜 柯西模型 光学性质 微观结构 

摘      要：提出一种综合利用区域逼近法和柯西拟合法精确获取Ge28Sb12Se60薄膜和Ge28Sb12Se60薄膜透射光谱范围内任意波长处折射率与色散的多点柯西法,并从理论上证明了该方法的准确性.实验上,采用磁控溅射法制备了这两种Ge-Sb-Se薄膜,利用傅里叶红外光谱仪测得了透射光谱曲线,运用分段滤波的方法去除噪声,然后使用多点柯西法得到了这两种薄膜在500-2500 nm波段的折射率、色散、吸收系数和光学带隙.结果表明Ge28Sb12Se60薄膜的折射率和吸收系数大于Ge28Sb15Se65薄膜, Ge28Sb15Se65薄膜的光学带隙小于Ge28Sb12Se60薄膜.最后,利用拉曼光谱对两种薄膜的微观结构进行了表征,从原子之间的键合性质解释了这两种硫系薄膜不同光学性质的原因.