硅微机械陀螺仪结构中的电容分析
Analyses of the Capacitance in the Silicon Micromachined Gyroscope Structure作者机构：东南大学仪器科学与工程系江苏南京210096
出 版 物：《测控技术》 (Measurement & Control Technology)
年 卷 期：2005年第24卷第11期
页 面：9-12页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 07[理学] 08[工学] 070205[理学-凝聚态物理] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0825[工学-航空宇航科学与技术] 0702[理学-物理学]
基 金：国家高技术研究发展计划(863计划)课题(2002AA812038)总装备部十五国防预研课题(41308050109)
摘 要：为减小杂散电容提高信噪比,分析了硅微机械陀螺仪结构中的电容。并以某硅微机械陀螺仪的理 论模型为对象,建立了陀螺仪结构中的电容模型。对每种电容进行了理论分析,并借助电路仿真软件对 模型进行了仿真,分析了杂散电容对输出的影响,结果表明布线与活动结构间的电容对输出有很大的影 响。提出了采用新工艺和合理的布线方法减小与活动结构间的电容,从而提高信噪比。
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