薄膜光学常数的改进粒子群反演算法
Improved particle swarm optimization algorithm for optical constants of thin films作者机构：上海交通大学机械与动力工程学院上海200240 西安空间无线电技术研究所西安710000
出 版 物：《中国科技论文》 (China Sciencepaper)
年 卷 期：2020年第15卷第4期
页 面：379-384页
学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
摘 要：针对聚酰亚胺薄膜的光学常数进行反演计算,在传统粒子群算法的基础上引入模拟退火算法改进优化。基于改进后的算法由薄膜透射率测量数据反演求解薄膜在波长为450~2500 nm的折射率和消光系数。针对求解波长范围大、薄膜透射率数值变化剧烈的特点,采用基于透射率数值的分段方法并以平衡评价函数作为优化指标。根据菲涅尔方程使用反演计算得到的光学常数恢复出薄膜透射率的理论值,与实验测量值作对比。结果表明,相比传统算法,改进粒子群算法恢复出的计算透射率与测量值更加接近,具有更好的优化性能。
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