基于回归分析的绝对式光栅尺精度提高方法

作     者：乔栋 续志军 吴宏圣 曾琪峰 Qiao Dong;Xu Zhijun;Wu Hongsheng;Zeng Qifeng

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033 中国科学院大学北京100049 

出 版 物：《华中科技大学学报（自然科学版）》 (Journal of Huazhong University of Science and Technology(Natural Science Edition))

年 卷 期：2015年第43卷第1期

页      面：21-23,79页

核心收录：

学科分类：0810[工学-信息与通信工程] 0808[工学-电气工程] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程] 0812[工学-计算机科学与技术（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家科技重大专项资助项目(2013ZX04007-021) 

主　　题：测量 回归分析 绝对式光栅尺 精度 误差补偿 

摘      要：提出一种使用回归分析提高绝对式光栅尺测量精度的方法.分析了影响绝对式光栅尺测量精度的因素以及提高其测量精度的方法;对JC09型绝对式光栅尺的测量值和真值进行回归分析,得到回归方程;对回归方程进行了显著性分析,并提出了修正方程;通过实验验证了该方法能够有效提高绝对式光栅尺的测量精度.实验结果表明：在绝对式光栅尺800mm测量长度内,测量精度由0∽18.25μm提高到-4.21∽5.72μm.另外,该方法具有成本低、计算量少以及易于实现的优点.