激活能测试装置设计及微晶硅薄膜激活能测试
The design of activation energy measurement equipment and measurement of activation energy of microcrystalline silicon thin films作者机构：滨州学院物理与电子科学系山东滨州256603 郑州大学材料物理教育部重点实验室河南郑州450052
出 版 物：《山东大学学报（工学版）》 (Journal of Shandong University（Engineering Science）)
年 卷 期：2010年第40卷第4期
页 面：149-152页
学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
基 金：滨州学院青年人才创新工程科研基金资助项目(BZXYQNLG200821)
摘 要：为了分析微晶硅薄膜的本征特性,设计了激活能测试装置。测试装置包括测试平台、真空系统和加热控制系统。同时给出激活能计算方法,并对不同电压、不同取点个数对激活能测试的影响进行分析。分析结果表明,不同测试电压对激活能测试结果影响很小,不同取点个数计算的激活能差别也很小。
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