《微电子机械系统》
出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)
年 卷 期：2006年第17卷第12期
页 面：1241-1241页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080202[工学-机械电子工程] 0802[工学-机械工程]
主 题：微电子机械系统 MEMS 基础知识 器件结构 测量方法 力学量 传感器 工艺
摘 要：本书介绍了微电子机械系统（MEMS）的相关基础知识、MEMS主要工艺和器件结构等方面内容，对该领域的热点研究问题进行了探讨，主要内容分为五个部分，首先介绍MEMS的相关力学量测量方法，使读者对力学量方面的知识有详细的了解，然后介绍MEMS中的主要工艺，在此基础上，系统介绍MEMS中的传感器部分，包括传感器的原理、结构和实现方法，
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