共路外差表面轮廓仪
Heterodyne common path surface profilometer作者机构：中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室长春130022
出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)
年 卷 期：1993年第13卷第7期
页 面：670-672页
核心收录：
基 金：国家自然科学基金资助
摘 要：本文提出了一种改进的外差共路干涉仪,用于表面粗糙度的测量,它对机械振动、温度变化等极不敏感,纵向分辨率为0.1nm,可用于表面粗糙度的实际检测工作.
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