基于数字显微镜全息条纹相干度的量化与改进
Quantification and improvement of degree of coherence ofhologram fringe based on digital microscope作者机构：华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室湖北武汉430074
出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)
年 卷 期：2020年第39卷第5期
页 面：37-40页
学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学]
基 金：国家自然科学基金资助项目(51675210 51675209)
摘 要：研究了改进的反射式离轴像面数字全息显微测量光学结构,该配置补偿了参考光束和物光束之间光程差,并具有结构紧凑和低成本优点,进而提出了一种更可靠的全息图条纹相干度与可见度的量化计算方法,比标准差更适合评估全息图质量,并分析了全息图条纹可见度对重建三维结构表面形貌的影响。实验证明了改进的数字全息显微测量光学结构在提高条纹相干度方面的有效性。
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