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用激光干涉法测量长度的智能化处理技术研究

RESEARCH ON INTELLIGENTIZED TECHNOLOGY FOR MEASUREMENT OF LENGTH OF BY LASER INTERFEROMETRY

作     者:苏俊宏 

作者机构:西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室陕西西安710032 

出 版 物:《应用光学》 (Journal of Applied Optics)

年 卷 期:2002年第23卷第5期

页      面:11-13页

学科分类:070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

主  题:智能化处理 量块 激光干涉测量法 干涉条纹处理 长度测量 端面长度标准 

摘      要:介绍利用激光干涉与数字图像处理技术以及应用 FFT分析干涉条纹方法 ,分析并解决测量端面长度标准中条纹图的处理技术。应用这种方法不但提高了测试过程的自动化程度 ,而且大大地提高了测量精度。

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