50型MEVVA源离子注入机
TYPE-50 MEVVA ION IMPLANTER作者机构：北京师范大学低能核物理研究所射线束技术与材料改性教育部重点实验室北京100875
出 版 物：《北京师范大学学报：自然科学版》 (JOURNAL OF BEIJING NORMAL UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE))
年 卷 期：2002年第38卷第4期
页 面：496-499页
核心收录：
学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 082701[工学-核能科学与工程] 0827[工学-核科学与技术] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
基 金：国家"八六三"计划资助项目
主 题：MEVVA源 离子注入机 材料表面改性 真空靶室 电源 低能核物理 控制测量系统
摘 要：详细介绍了 5 0型强束流、大束斑MEVVA源注入机的结构和各项性能 .5 0型MEVVA源注入机是北京师范大学低能核物理研究所于九五期间承担的“八六三计划项目“先进离子束注入技术的工业应用所取得的成果 。
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