油扩散泵抽气速率与被抽气体的关系
Relationship between pumping speed of oil diffusion pump and gases pumped
作 者:李殿东 LI Dian-dong
作者机构:兰州真空设备有限责任公司甘肃兰州730050
出 版 物:《真空》 (Vacuum)
年 卷 期:2007年第44卷第2期
页 面:18-21页
学科分类:08[工学]
主 题:油扩散泵 抽气速率 选择性
摘 要:通过对油扩散泵抽气速率、气体分子平均热运动速度和分子流态下气体流导的分析,指出油扩散泵对不同气体的抽气速率具有选择性,给出了泵对不同气体和空气抽气速率比值的计算值,同时指出电离规的规管常数与气体种类有关。