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油扩散泵抽气速率与被抽气体的关系

Relationship between pumping speed of oil diffusion pump and gases pumped

作     者:李殿东 LI Dian-dong

作者机构:兰州真空设备有限责任公司甘肃兰州730050 

出 版 物:《真空》 (Vacuum)

年 卷 期:2007年第44卷第2期

页      面:18-21页

学科分类:08[工学] 

主  题:油扩散泵 抽气速率 选择性 

摘      要:通过对油扩散泵抽气速率、气体分子平均热运动速度和分子流态下气体流导的分析,指出油扩散泵对不同气体的抽气速率具有选择性,给出了泵对不同气体和空气抽气速率比值的计算值,同时指出电离规的规管常数与气体种类有关。

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