磁控溅射制备Al2O3薄膜及耐蚀性能研究

作     者：吴坤尧 刘强 鲁媛媛 孙乐 WU Kunyao;LIU Qiang;LU Yuanyuan;SUN Le

作者机构：西安航空学院材料工程学院 

出 版 物：《功能材料》 (Journal of Functional Materials)

年 卷 期：2020年第51卷第2期

页      面：2209-2213页

核心收录：

学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家级大学生创新创业训练计划资助项目(201911736009) 陕西省教育厅2019年度专项科学研究计划资助项目(19JK0430) 

主　　题：磁控溅射 Al2O3薄膜 耐蚀性 

摘      要：采用直流磁控溅射镀膜技术以高纯铝为靶材,氧气为反应气体,在304不锈钢基底上以不同溅射功率(60,90,120,150和180 W)沉积Al2O3薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对薄膜晶体结构和表面形貌进行分析表征,使用电化学工作站考察Al2O3薄膜的耐蚀性能。结果表明:所制备的Al2O3薄膜表面平整、均匀致密,并且在(217)面具有较好的择优取向;溅射功率对薄膜耐蚀性有较大影响,随溅射功率增加,耐蚀性先增强后减弱,在功率为150 W时所制备薄膜的耐蚀性能最优。