基于激光多普勒的微型弹簧振动快速测试方法
A Fast Test Method of Micro-plane Spring Vibration based on Laser Doppler作者机构:机电动态控制重点实验室
出 版 物:《探测与控制学报》 (Journal of Detection & Control)
年 卷 期:2019年第41卷第6期
页 面:64-68页
学科分类:0711[理学-系统科学] 07[理学] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 080402[工学-测试计量技术及仪器]
主 题:微型弹簧 振动快速测试 激光多普勒 频率偏移量 快速测试
摘 要:针对现有微型弹簧振动测试周期较长的问题,提出了基于激光多普勒原理的微型弹簧振动快速测试方法。该方法采用氦氖激光器作为光源,垂直照射到处于振动状态的弹簧表面,对反射激光光束的频率偏移量进行精确测量并从中解算出被测弹簧的振动参数。实测和仿真结果表明,提出的微型弹簧振动快速测试方法对谐振位移和频率均具有较高测试精度,可将单个微型弹簧的振动测试周期缩短至约3 min左右,测试周期显著缩短,可以实现特征尺寸为微米级的微型弹簧振动快速测试。