显影系统供液设计研究
Study on Liquid Supplying Design of Develop Systems作者机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所北京100176 山东元旭光电股份有限公司山东潍坊261061
出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)
年 卷 期：2019年第48卷第6期
页 面：40-44页
学科分类：081704[工学-应用化学] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术]
摘 要：显影是半导体制造过程中的一道很重要的工艺环节,不同工艺使用的显影液不同。为实现多种显影液自动切换,并避免人工更换显影液造成的污染与浪费,且能够有效提高生产效率,设计了一种新型的显影供液系统,可自动切换两种不同浓度同种化学成分和不同化学成分共三种显影液,方便显影液供给,减少人工操作,避免人工换液造成的污染和浪费,能够更好地满足多种显影液频繁更换的需要。
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