基于ZPET-FF和ESO的直线伺服鲁棒跟踪控制

作     者：陈兴林 刘川 周乃新 王斌 CHEN Xing-lin;LIU Chuan;ZHOU Nai-xin;WANG Bin

作者机构：哈尔滨工业大学航天学院哈尔滨150001 

出 版 物：《上海交通大学学报》 (Journal of Shanghai Jiaotong University)

年 卷 期：2014年第48卷第5期

页      面：679-684页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家科技重大专项资助项目(2009ZX02207) 

主　　题：光刻机 工件台 掩模台 零相位误差跟踪控制器 扩张状态观测器 

摘      要：提出一种将零相位误差跟踪和前馈(ZPET-FF)与扩张状态观测器(ESO)相结合的重复控制方法,以提高宏动台直线电机伺服系统的跟踪性能.以ZPET-FF作为前馈跟踪控制器,将信号估计器估计的跟踪误差和系统的实时误差作为其输入信号,将控制器对系统的跟踪误差进行实时补偿,以降低参数变化对系统的影响,有效提高系统的带宽和跟踪性能,减小系统的动态跟踪误差;采用ESO补偿系统中的各种扰动抑制噪声,以提高系统的抗干扰能力.实验结果表明,所提出的控制方法不仅提高了系统的动态跟踪性能,而且减小了系统的跟踪误差.