基于激光光切法的MEMS器件高度在线检测方法(英文)

作     者：曾涛 石庚辰 张兵 王禛 王倩倩 ZENG Tao;SHI Geng-chen;ZHANG Bing;WANG Zhen;WANG Qian-qian

作者机构：北京理工大学机电工程与控制国家级重点实验室北京100081 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2012年第10卷第5期

页      面：422-428页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0810[工学-信息与通信工程] 0817[工学-化学工程与技术] 0807[工学-动力工程及工程热物理] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 0802[工学-机械工程] 0703[理学-化学] 0835[工学-软件工程] 081002[工学-信号与信息处理] 0811[工学-控制科学与工程] 0801[工学-力学（可授工学、理学学位）] 

基　　金：武器装备预研基金资助项目 

主　　题：MEMS 高度在线检测 激光光切法 图像检测 

摘      要：为了解决MEMS器件在加工过程中在线高度检测的困难,提出了一种基于激光光切法的MEMS器件高度在线检测方法.首先建立了用以验证激光光切法有效性的高度在线检测系统;然后提出了一种基于阈值分割、数学形态学、逐行扫描法和加权最小二乘法的快速激光中心线提取算法.实验表明,建立的高度在线检测系统的最大平均误差及误差的均方差分别为-6.38μm和1.87μm,且检测一次高度的时间为1.03 s.因此,激光光切法可以用于MEMS器件高度的在线检测.