平场全息凹面光栅制作结构与使用结构之间误差补偿作用的数值模拟与实验验证

作     者：周倩 曾理江 李立峰 ZHOU Qian;ZENG Li-jiang;LI Li-feng

作者机构：清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室精密仪器系北京100084 

出 版 物：《光谱学与光谱分析》 (Spectroscopy and Spectral Analysis)

年 卷 期：2008年第28卷第7期

页      面：1674-1678页

核心收录：

学科分类：07[理学] 0804[工学-仪器科学与技术] 070302[理学-分析化学] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家科技部项目(2004BA210A06)资助 

主　　题：光谱仪器 平场全息凹面光栅 光栅设计 光栅制作 

摘      要：通过对优化计算出的平场全息凹面光栅制作结构(曝光记录结构)和使用结构(光谱仪分光结构)之间各个参数进行联合数值模拟,得出如下结论:在优化设计参数值附近一个较大范围的误差区域内,平场全息凹面光栅的制作结构参数误差和使用结构参数误差可以相互补偿,最终补偿的结果可以使光谱成像质量达到与原设计结构相当的水平,满足光谱仪器的使用要求。文章给出了数值模拟结果以及与其相符的实验验证结果。此补偿作用有利于降低平场全息凹面光栅制作中各个参数精度的调节难度,并且可以对实际使用过程中光谱仪器的设计和装调进行理论上的指导。