纳米级光栅容栅融合测量系统研究

作     者：毛谦敏 刘安坤 沈为民 张增耀 MAO Qian-min;LIU An-kun;SHEN Wei-min;ZHANG Zeng-yao

作者机构：中国计量学院计量技术工程学院杭州310018 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2006年第19卷第5A期

页      面：1519-1522页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：浙江省自然科学基金项目资助(Y104338) 

主　　题：光栅 容栅 纳米 融合测量技术 

摘      要：利用容栅测量系统中激励信号源的设计技术,产生一组多相输出的调制信号源,作为光栅测量系统的多相线阵光源激励信号,发出的多相调制光信号,再经过标尺光栅调制后,由光电转换元件接收并获得一个复合的电信号.该信号经处理电路后,可获得一个频率与激励信号源的基波频率相等的电信号,检测这两个信号间的相位差的变化,可得到标尺光栅的移动距离x.将容栅和光栅测量技术有机地结合,并通过提高相位检测电路的细分数和减小线阵光源的点距,可达到亚微米或纳米级的测量分辨力.