电流模式对柠檬酸盐体系镀金的影响

作     者：王卿 张勇斌 陈金明 王锋 WANG Qing;ZHANG Yongbin;CHEN Jinming;WANG Feng

作者机构：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 

出 版 物：《中国表面工程》 (China Surface Engineering)

年 卷 期：2019年第32卷第3期

页      面：88-98页

核心收录：

学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家自然科学基金(51475439) 四川省科技计划项目(2018JY0620)~~ 

主　　题：电镀金 电镀电源 正向单脉冲 正向群脉冲 周期换向脉冲 

摘      要：针对作为密封层使用的镀金层存在沉积速率低、厚度不均匀的问题,使用自研精密电镀电源,对比直流(DC)、正向单脉冲(FPC)、正向群脉冲(FGPC)、周期换向脉冲(PPRC)对镀金的影响。仿真PPRC一个周期内镀层厚度的变化情况。使用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、X射线衍射仪(XRD)和X射线荧光测厚仪分析镀层的表面形貌、结构、沉积速率、厚度均匀性和电流效率。结果表明:仿真中PPRC较FPC可以明显改善镀层的厚度均匀性,电流模式影响镀金层的晶面峰强和电流效率,DC、FPC、FGPC、PPRC镀金层的晶粒尺寸依次减小,镀金层表面的致密性和厚度均匀性提高,脉冲模式下阴极振动可显著提高沉积速率。使用适宜的PPRC参数镀金,可以在较高的沉积速率下获得厚度均匀、致密的镀金层。