六氟乙烷的制备及纯化方法概述
Method For Producing And Purifying Hexafluoroethane作者机构：佛山市华特气体有限公司广东佛山528241
出 版 物：《低温与特气》 (Low Temperature and Specialty Gases)
年 卷 期：2013年第31卷第3期
页 面：1-4页
学科分类：081702[工学-化学工艺] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术]
摘 要：六氟乙烷主要用作集成电路的蚀刻气体和清洗气体,介绍了几种六氟乙烷的制备方法和纯化方法。
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