Al和MgF_2多层滤光膜光谱及其环境稳定性
Al and MgF_2 multi-layer filters and their environmental stability作者机构:同济大学精密光学工程技术研究所上海200092
出 版 物:《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)
年 卷 期:2008年第20卷第2期
页 面:219-223页
核心收录:
学科分类:0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 0702[理学-物理学]
基 金:国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金资助课题(10576021)
摘 要:采用真空热蒸发和电子束蒸发方法,制备了Al和MgF2多层滤光膜,并在100,150,200,300℃的真空环境中进行了热处理,考察了真空热处理温度对多层滤光膜光谱、形貌和环境稳定特性的影响。结果表明,经过真空热处理后,滤光膜表面粗糙度降低,峰值透射率升高,半宽度增大。随着在实验室干燥环境中放置时间的增加,未热处理以及300℃热处理样品的透射率峰位向长波方向有较大的移动,峰值透射率降低,可见光抑制特性减弱。而150,200℃热处理样品的透射率峰位移动很小,峰值透射率及可见光抑制特性基本保持不变,具有很好的环境稳定性。