Al和MgF_2多层滤光膜光谱及其环境稳定性

作     者：郑秀萍 吴永刚 付联效 王振华 曹鸿 张莉 焦宏飞 彭东功 ZHENG Xiu-ping;WU Yong-gang;FU Lian-xiao;WANG Zhen-hua;CAO Hong;ZHANG Li;JIAO Hong-fei;PENG Dong-gong

作者机构：同济大学精密光学工程技术研究所上海200092 

出 版 物：《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)

年 卷 期：2008年第20卷第2期

页      面：219-223页

核心收录：

学科分类：0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金资助课题(10576021) 

主　　题：多层膜 热处理 环境稳定性 峰值透射率 

摘      要：采用真空热蒸发和电子束蒸发方法,制备了Al和MgF2多层滤光膜,并在100,150,200,300℃的真空环境中进行了热处理,考察了真空热处理温度对多层滤光膜光谱、形貌和环境稳定特性的影响。结果表明,经过真空热处理后,滤光膜表面粗糙度降低,峰值透射率升高,半宽度增大。随着在实验室干燥环境中放置时间的增加,未热处理以及300℃热处理样品的透射率峰位向长波方向有较大的移动,峰值透射率降低,可见光抑制特性减弱。而150,200℃热处理样品的透射率峰位移动很小,峰值透射率及可见光抑制特性基本保持不变,具有很好的环境稳定性。