非晶金刚石薄膜的制备及其性能研究
PREPARATION OF AMORPHOUS DIAMOND FILMS AND STUDY ON THEIR PROPERTIES出 版 物：《功能材料与器件学报》 (Journal of Functional Materials and Devices)
年 卷 期：1997年第3卷第1期
页 面：67-71页
学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
基 金：国家自然科学基金
摘 要：本文利用一种新的等离子体沉积技术—真空磁过滤弧沉积（ＦＡＤ）制备得到一种无氢的非晶碳膜。ＥＥＬＳ分析表明，这种非晶碳膜几乎不含有ｓｐ２和ｓｐ杂化键，呈现出高度的金刚石特征，以致可以被称为非晶金刚石（ａＤ）膜。应用紫外透射光谱（ＵＶ）、红外反射光谱以及椭偏测量等方法对ａＤ膜的光学性能进行了测量。利用显微力学探针、Ｘ射线双晶衍射、卢瑟福背散射（ＲＢＳ）技术和ＥＥＬＳ分析等多种测量手段对ａＤ的超显微硬度、应力以及密度等力学和结构特性进行了定量分析。另外，对这种ａＤ膜的场电子发射性能也进行了研究。
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