一种光学材料高效超精密加工方法

作     者：尹韶辉 大森整 林伟民 上原嘉宏 陈逢军 朱科军 Yin Shaohui;Ohmori Hitoshi;Lin Weimin;Uehara Yoshihiro;Chen Fengjun;Zhu Kejun

作者机构：湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心湖南长沙410082 日本理化学研究所日本东京 日本秋田县立大学日本秋田 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2008年第19卷第21期

页      面：2540-2544页

核心收录：

学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0802[工学-机械工程] 080201[工学-机械制造及其自动化] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50675064) 国家863高技术研究发展计划资助项目(2006AA04Z335) 

主　　题：ELID磨削 磁流变光整加工(MRF) 超精密组合加工 形状精度 表面粗糙度 光学材料 

摘      要：提出了结合磁流变光整加工(MRF)与在线电解修整(ELID)磨削对各种光学材料进行超精密加工的方法,即采用ELID磨削进行预抛光以获得高质量表面,然后采用MRF进行精密抛光以进一步减小表面粗糙度和形状误差。利用该组合工艺对BK7玻璃、硅晶玻璃、碳化硅等光学材料进行了超精密加工实验,可以在短时间内使光学材料工件表面得到亚纳米级的表面粗糙度和峰谷值为λ/20(λ为单位波长,λ=632.8nm)的形状精度。