外腔镜非线性运动对激光回馈应力测量系统精度的影响及修正
Correction of error induced by nonlinear movement of feedback mirror in laser feedback stress measurement system作者机构：北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院北京100191
出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)
年 卷 期：2015年第64卷第8期
页 面：183-188页
核心收录：
学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0704[理学-天文学] 0803[工学-光学工程]
基 金：国家自然科学基金重点项目(批准号:61036016)资助的课题~~
摘 要：基于激光的回馈效应可实现光学材料应力分布的测量,而系统外腔镜的非线性运动会引起测量结果的误差,影响系统的精度.利用高精度Nd:YAG激光回馈干涉仪对外腔镜的位移随时间的变化进行测量,采用高次拟合的方式得到位移与时间函数关系,并利用三镜腔等效模型的调谐曲线方程,对非线性运动引入的应力测量误差进行计算,实现对系统精度的修正.结果表明:外腔镜运动方向不同,引起的误差呈现相反的变化趋势;将不同方向的测量结果进行平均,可减小系统的测量误差.分析了外腔镜非线性运动带来的误差对系统测量精度的影响,提出了测量误差修正方法,对提高系统的测量精度具有重要意义.
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