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InGaAs/AlAs双势垒RTD单片高速逻辑IC的研制

Fabrication of InGaAs/AlAs Double Barrier RTD Based Monolithic High-Speed Logicintegrated Circuits

作     者:雷培明 Willia,W 

作者机构:美国Notre Dame大学电机工程系 

出 版 物:《微电子学与计算机》 (Microelectronics & Computer)

年 卷 期:1996年第13卷第2期

页      面:1-5页

学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 

主  题:InGaAs AlAs 双势垒RTD 逻辑集成电路 

摘      要:本文叙述一种新型的基于InGaAs/AlAS双势垒RTD单片高速逻辑集成电路的设计和制造技术。由该技术产主的Schot-tky/RTD集成双稳开关已工作到3GHZ的振荡频率。

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