一种基于MEMS技术的红外热探测器研究与设计
Design and Study of IR Microcantilever Thermal Detector Based On MEMS作者机构：重庆大学重庆400044 重庆大学重庆400044 重庆大学重庆400044
出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)
年 卷 期：2005年第16卷第Z1期
页 面：235-237页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0802[工学-机械工程] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程] 0801[工学-力学（可授工学、理学学位）]
摘 要：为了提高传统探测器的响应度和灵敏度,利用微机电系统(MEMS)的方法设计了一个微梁红外热探测器.对硅基微悬臂梁红外热探测器的工作原理进行了详尽的分析.设计了一个实验平台来测量微悬臂梁的变形,实验结果表明,基于MEMS技术的红外热探测器有良好的性能.
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