GeSi/Si异质结光波导光栅耦合器的设计与模拟

作     者：徐勤昌 刘淑平 XU Qin-chang;LIU Shu-ping

作者机构：太原科技大学山西太原030024 

出 版 物：《量子光学学报》 (Journal of Quantum Optics)

年 卷 期：2008年第14卷第4期

页      面：453-458页

核心收录：

学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：山西省自然科学基金(2007011047) 

主　　题：GeSi/Si异质结 光电集成 光栅耦合器 

摘      要：GeSi/Si异质结光波导是硅基光电集成(OEIC)领域一种重要的连接器件,研究其光的输入耦合,提高耦合效率有着重要的意义。通过分析导模—辐射模的耦合理论求得光栅耦合器的辐射损耗系数,设计分析了波导层厚度为2500 nm,入射波长为1300 nm的单模Ge0.05Si0.95/Si异质结波导光栅耦合器的周期、长度和槽深,得出从空气中输入角为75°(从衬底中入射角为16°)时,周期为0.512μm,槽宽为0.256μm,光栅长度为2.3 mm,从空气侧输入时耦合效率为22.5%,从衬底输入时耦合效率为46.3%,并对其输入、输出光场进行了数值模拟。