精密角度传感器及其标定技术的研究
Precision Angle Sensor and Its Calibration Techniques作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所上海2018002 日本东北大学大学院工学研究科仙台9808579
出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)
年 卷 期：2001年第21卷第2期
页 面：232-235页
核心收录：
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程]
主 题：角度传感器 临界反射 自标定 补偿技术 光源热飘移 平均灵敏度 线性误差
摘 要：介绍了精密角度传感器和不使用任何精密参考仪器的角度传感器的自标定方法。采用补偿技术制作了一对角度传感器 ,可以克服光源热漂移带来的影响 ,并进行了标定。两个角度传感器的测量范围为 180″,分辨率分别为 0 .0 0 3″,0 .0 0 4″。平均灵敏度标定的重复性误差为 0 .0 15 % ,线性误差的标定重复性误差为 0 .0 15″。
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