相位激光测距与外差干涉相结合的绝对距离测量研究
Absolute distance measurement by combining phase distance meter and heterodyne interferometer作者机构：清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084
出 版 物：《应用光学》 (Journal of Applied Optics)
年 卷 期：2010年第31卷第6期
页 面：1013-1017页
学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
主 题：绝对距离测量 相位激光测距 外差干涉测量 双纵模He-Ne激光器
摘 要：为了克服一般绝对距离测量方法量程和精度不能同时满足的问题,提出一种相位激光测距与外差干涉相结合的绝对距离测量方案。该方案使用相位激光测距技术进行粗测,双纵模He-Ne激光器外差干涉测长技术进行精测,保证两者结合的单值性。建立测量系统,对方案的可行性进行了实验验证,并对影响系统稳定性的因素进行了分析。与双频激光干涉仪的比对结果表明:测量标准差优于1 mm,可以满足一些大尺寸的测量精度要求。
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