ZnO外延薄膜的制备及孪晶的形成

作     者：许贺菊 高永春 侯淑莲 张久云 张丽 于威 XU He-ju;GAO Yong-chun;HOU Shu-lian;ZHANG Jiu-yun;ZHANG Li;YU Wei

作者机构：华北煤炭医学院河北唐山063000 河北大学物理科学与技术学院河北保定071002 

出 版 物：《唐山师范学院学报》 (Journal of Tangshan Normal University)

年 卷 期：2009年第31卷第2期

页      面：52-54页

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：河北省自然科学基金(E2006001006) 

主　　题：外延ZnO薄膜 退火 孪晶 等离子体 

摘      要：采用螺旋波等离子体辅助溅射沉积法在衬底Al2O3的(0001)面上沉积ZnO薄膜,所生长的薄膜在未退火和退火时表现出不同的平面内取向。未退火时薄膜表现出较好的单筹异质外延生长,而退火后薄膜的Φ扫描图像中出现了12个峰,这表明退火后薄膜出现反相筹,表现为孪晶生长。重点分析了退火对螺旋波等离子体辅助溅射技术外延ZnO薄膜的结构及表面形貌的影响规律,为外延ZnO薄膜质量的提高及该技术应用的探索奠定基础。