高温热处理对PbPc为基的气体传感器特性的影响
作者机构：同济大学物理系
出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)
年 卷 期：1991年第4卷第4期
页 面：57-60页
核心收录：
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程]
主 题：气体传感器 高温热处理 PbPc 气敏特性 共面连接
摘 要：以金属酞花菁薄膜检测NO2等强电子亲和势气体己为人们所注视,然而当NO2浓度高于0.5×10-6时,其响应时间和恢复时间都将加长,限制了它的应用范围。***和***曾为克服此缺点而努力,发现有两条途径可以解决之,一是将器件的工作温度从一般的200℃提高到200～300℃,二是采用300℃以上的高温热处理,然后降低到正常的工作温度,都获得了显著的成效。前者由于工作温度太高,使铅酞花菁薄膜的热蒸发过速。
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