一种高端芯片厂洁净室设计提案构想介绍
An Introduction to Design Proposal of Advanced Semiconductor Manufacturing Cleanroom作者机构：亚翔系统集成科技(苏州)股份有限公司
出 版 物：《洁净与空调技术》 (Contamination Control & Air-Conditioning Technology)
年 卷 期：2014年第2期
页 面：94-98页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
摘 要：从高端芯片厂工艺需求与污染控制的角度出发,检视目前芯片厂洁净室的设计概念后,提出另外一种洁净室设计的提案构想,以为业界参考。
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