微泵硅膜振动拾振传感器的设计
Design a Collecting Vibration Frequency Sensor of Micro-Pump Diaphragm作者机构：黑龙江大学黑龙江省电子工程重点实验室
出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)
年 卷 期：2007年第20卷第6期
页 面：1249-1252页
核心收录：
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程]
摘 要：设计了一种微泵硅膜振动拾振传感器.该传感器采用了非对称基区梳状温度补偿晶体管,并提出了恰当设计SiO2膜和Al膜的厚度对零点温度漂移有极小值是非常重要的.实验结果表明,本文设计的微泵硅膜振动拾振传感器结构合理并且适合各种硅微泵、具有温度补偿功能,在-10℃-50℃的范围内,灵敏度的温度系数为0.2%.还具有灵敏度高、制造工艺相对简单、与MEMS工艺相兼容、使用寿命长的优点,有广泛的应用前景.
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