CVD金刚石薄膜涂层衬底预处理方法
Methods of the Pre-treatment of CVD Diamond Film Substrates作者机构：郑州大学材料物理教育部重点实验室
出 版 物：《人工晶体学报》 (Journal of Synthetic Crystals)
年 卷 期：2004年第33卷第6期
页 面：1060-1064页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0803[工学-光学工程]
主 题：衬底 薄膜涂层 刻蚀 硅表面 等离子体 化学腐蚀 成核 CVD金刚石 表面预处理 结合力
摘 要：概述了CVD金刚石薄膜涂层衬底预处理的基本方法 ,并对一些主要方法作了评述。对于硬质合金类衬底预处理、铜衬底表面预处理、钢铁衬底表面预处理、硅表面预处理 ,提高膜基结合力的途径除有研磨、超声清洗、植晶、化学腐蚀、等离子体刻蚀、沉积中间过渡层等方法外 ,还有优化衬底形状。
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