32×32微镜阵列的ANSYS模拟和制造工艺研究
ANSYS simulation and fabrication of 32×32 micromirror array作者机构：华中科技大学光电子科学与工程学院湖北武汉430074 武汉光电国家实验室湖北武汉430074 深圳大学工程技术学院广东深圳518060
出 版 物：《激光杂志》 (Laser Journal)
年 卷 期：2006年第27卷第6期
页 面：28-29页
核心收录：
学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
摘 要：基于ANSYS软件模拟设计了单元镜面面积为60×60μm2的32×32元微反射镜阵列,其工作频率可达到30KHz,最大扫描偏转角度为±10°,响应时间少于30μs。同时提出了一种基于表面薄膜工艺的加工方法,成功制作了该32×32元的微镜阵列,并进行了初步测试。
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