一种针对超大口径凸非球面的面形检测方法

作     者：张海东 王孝坤 薛栋林 张学军 ZHANG Hai-dong;WANG Xiao-kun;XUE Dong-lin;ZHANG Xue-jun

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室吉林长春130033 中国科学院大学北京100049 

出 版 物：《中国光学》 (Chinese Optics)

年 卷 期：2019年第12卷第5期

页      面：1147-1154页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家重点研发计划(No.2016YFB0500100)~~ 

主　　题：面形检测 非球面 像差补偿 衍射光学元件 

摘      要：本文提出了一种改良的检测方法用于实现对超大口径凸非球面反射镜进行高精度的面形检测。该方法利用计算机再现全息和照明透镜混合补偿,实现对超大口径凸非球面的高精度检测。首先,对该方法的基本原理进行了分析和研究;然后,以一块口径为800 mm的超大口径凸非球面为例,进行了子孔径规划和检测光路中相关光学元件的设计;最后,以中心子孔径为例,系统分析了该检测装置的敏感度。仿真实验结果表明:计算全息补偿器的设计残差均方根值小于0. 001 3 nm,该检测系统的综合检测精度可以优于6 nm RMS。结果表明该检测系统满足超大口径凸非球面反射镜高精度面形检测的要求。