基于氧化铝陶瓷的无线无源压力传感器

作     者：郑庭丽 梁庭 洪应平 任重 李赛男 熊继军 Zheng Tingli;Liang Ting;Hong Yingping;Ren Zhong;Li Sainan;Xiong Jijun

作者机构：中北大学电子测试技术重点实验室 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2014年第51卷第9期

页      面：583-587页

学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 

基　　金：国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2010CB334703) 国家自然科学基金重点项目(61335008) 

主　　题：氧化铝陶瓷 无线耦合 压力测试 谐振频率 灵敏度 

摘      要：研究了一种基于质量分数为96％氧化铝陶瓷的无线无源压力传感器，利用陶瓷的多层叠片技术、高温烧结技术和丝网印刷技术完成了压力传感器的设计和制备。分析了传感器的无线耦合测试的理论模型，提出了一种读取相位差值的检测方法，并通过搭建常温下的压力测试系统，对传感器在3cm的测试距离以及0～2bar（1bar=105Pa）的压力变化下进行压力测试。测试结果表明，基于氧化铝陶瓷的传感器的谐振频率随压力的增大而减小，近似于线性变化，其灵敏度约为225kHz／bar。