a-C∶H/a-Se复合膜结构的红外及喇曼谱研究
Structural Studies of a-C:H/a-Se Complex Films by Infrared Raman Spectroscopy出 版 物:《无机材料学报》 (Journal of Inorganic Materials)
年 卷 期:1991年第6卷第4期
页 面:461-468页
核心收录:
学科分类:08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)]
主 题:复印感光体 C-H_(n)键型 功能团 非晶碳/非晶硒复合膜
摘 要:a-C∶H/a-Se/Al 是一种优良的新型复印感光体。我们在 KCl 和 Si 单晶上制备了 a-C∶H/a-Se 复合膜,以进行红外和喇曼谱分析。结果表明,a-Se 上 a-C∶H 层中 CH_n 键型(n=1~3)的比例为:sp^1∶sp^2∶sp^3=0.10∶0.09∶0.81;而 sp^3键型中各功能团比例为:sp^3CH∶sp^3CH_2∶sp^3CH_3=0.28∶0.38∶0.34。在同样工艺条件下制备的 KCl 上 a-C∶H 中的相应比例则为 sp^1∶sp^2∶sp^3=0∶0∶1;sp^3CH∶sp^3CH_2∶sp^3CH_3=0.45∶0.33∶0.22。二者相比,可认为 a-Se(?)衬底上的 a-C∶H 层中主要由 sp^3CH_2和 sp^2CH 构成的“长链型近程有序成分大大增加。由此可解释复合膜的性能并寻找改进复合膜的途径。