基于数学形态学的集成电路真实缺陷图像滤波
Mathematical morphological filtering for IC defect image作者机构：西安电子科技大学通信工程学院陕西西安710071 西安电子科技大学微电子所陕西西安710071
出 版 物：《西安电子科技大学学报》 (Journal of Xidian University)
年 卷 期：2001年第28卷第2期
页 面：211-214页
核心收录：
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
基 金：北京大学信息处理国家重点实验室开放课题基金资助项目! (N990 1Z5 1)
摘 要：在集成电路真实缺陷检测中 ,缺陷图像的滤波程度直接影响到后续处理的结果 .通过对若干幅实际集成电路真实缺陷图像的分析 ,提出一种基于数学形态学的集成电路真实缺陷图像滤波方法 ,该方法不仅能滤除非冗余物缺陷 ,而且能滤除冗余物缺陷内部噪声 。
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