EPBS对氚化钛薄膜中氚量及分布的初步分析

作     者：邬琦琦 龙兴贵 毛莉 孙洪伟 安竹 WU QiQi;LONG XingGui;MAO Li;SUN HongWei;AN Zhu

作者机构：中国工程物理研究院核物理与化学研究所绵阳621900 四川大学原子核科学技术研究所辐射物理及技术教育部重点实验室成都610064 

出 版 物：《四川大学学报（自然科学版）》 (Journal of Sichuan University(Natural Science Edition))

年 卷 期：2013年第50卷第4期

页      面：797-801页

核心收录：

学科分类：082703[工学-核技术及应用] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0827[工学-核科学与技术] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家自然科学基金(10674097 11175123) 

主　　题：氚分析 BIXS方法 EPBS方法 

摘      要：近年来,我们致力于将氚$衰变诱发X射线谱分析(BIXS)方法发展成为一种准确测量含氚薄膜中氚量及分布的常规方法.该方法结合了蒙特卡罗模拟与Tikhonov正则法,近期已用于一系列氚化钛薄膜样品总氚量、深度分布的分析.增强质子背散射分析(EPBS)方法作为一种快速、无损的杂质成分含量及深度分布的分析手段,在本文中被用于该系列氚化钛薄膜样品的分析,并与相应的BIXS结果进行了比较,对分析中的有关问题也进行了讨论.