连续过渡型多晶物相深度分布的X射线衍射测试方法
X-RAY DIFFRACTION PHASE DEPTH PROFILING FOR POLYCRYSTAL WITH CONTINUOUS PHASE DEPTH DISTRIBUTION作者机构:清华大学材料科学研究所北京100084
出 版 物:《物理学报》 (Acta Physica Sinica)
年 卷 期:1995年第44卷第11期
页 面:1788-1792页
核心收录:
学科分类:07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学]
基 金:国家自然科学基金
摘 要:提出了以X射线衍射测量连续过渡型多晶物相深度分布的方案.该方案在入射角大于全反射角的常规条件下,实现了严格的真实尺度下的物相定量深度分布测量.以计算谱对方法及程序的正确性进行了验证,并用实际样品对方法的可行性进行了验证.