直流磁控溅射法在PET基板上制备AZO薄膜

作     者：王翠凤 邱锡荣 赵乙璇 欧耿良 

作者机构：福建信息职业技术学院机电工程系福州350003 高雄应用科技大学模具工程系中国台湾高雄80706 台北医学大学口腔医学院中国台湾台北11041 

出 版 物：《中国表面工程》 (China Surface Engineering)

年 卷 期：2012年第25卷第6期

页      面：53-60页

学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：福建省教育厅自然科学基金(JA11306) 

主　　题：AZO PET基板 透明导电膜 直流磁控溅射 

摘      要：室温下用直流磁控溅射法在PET塑料基板上制备氧化锌薄膜及掺铝氧化锌AZO(ZnO:Al)薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、四点探针仪、霍尔效应仪及光谱仪等装置,考察了氧分率、溅射功率及铝掺杂量等工艺参数对薄膜微观结构和光电性能的影响。结果表明:AZO薄膜晶体结构为纯ZnO的六角纤锌矿结构。随着Al掺杂量增多,AZO薄膜导电性增加,透光率下降。在氧分率为8.2%,ZnO(40nm)/Al(6nm)三层膜条件下,得到电阻率为5.66×10-2Ω.cm,可见光范围内透光率约为80%的AZO薄膜。