鉴相技术在金属粗光栅细分中的应用
Application of phase-detection technology in geometry grating division作者机构：沈阳工业大学信息科学与工程学院辽宁沈阳110023
出 版 物：《沈阳工业大学学报》 (Journal of Shenyang University of Technology)
年 卷 期：1999年第21卷第5期
页 面：429-431页
学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学]
基 金：辽宁省科学技术基金!962188
摘 要：针对金属粗光栅波形质量差和节距大的缺点，提出了一种通过动态位置检测实现的鉴相细分方案，并完成了系统设计．实践证明，该方案解决了高倍细分数与高测量速度之间的矛盾，为金属光栅尺的应用开辟了新思路．
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